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多晶硅还原炉石墨件多晶硅还原炉石墨件多晶硅还原炉石墨件

多晶硅还原炉用石墨组件及其使用方法与流程 X技术网

1本发明涉及石墨组件结构技术领域，更为具体地，涉及一种多晶硅还原炉用石墨组件和多晶硅还原炉用石墨组件的使用方法。六工石墨重视科技研发，多年生产经验下研发了一种多晶硅还原炉用石墨卡瓣的制作方法。现在徐经理给大家做个说明：本实用新型涉及一种多晶硅还原炉用石墨组件，特别是涉及一种多晶硅还原炉用石墨卡瓣。详解晶硅石墨卡瓣,用途超级广泛,还原炉用,纯度高超 [0033]本实用新型提供一种多晶硅还原炉石墨件，通过在石墨卡座与石墨卡帽二者中至少一个的侧壁外侧中心对称设置至少一对凹槽，可以借助扳手分离石墨卡座和石墨卡帽，解决多晶硅还原一种多晶硅还原炉石墨件的制作方法 X技术网2023年12月8日使用该多晶硅还原炉用石墨组件，可以有效避免石墨组件被包覆嵌入硅棒内部，同时，硅棒与石墨组件分离时，将主要在石墨组件整体的上平面处形成断面，能够彻底实多晶硅还原炉用石墨组件及其使用方法豆丁网一种多晶硅还原炉用新型石墨组件，包括卡帽、卡座、卡瓣，所述卡瓣的高度不高于卡帽的顶部的最高高度，本发明中，降低了卡瓣的高度，在卡瓣中间固定的硅芯完全暴露在还原炉的高温气 CNB 多晶硅还原炉用石墨组件 Google Patents本实用新型提供一种多晶硅还原炉石墨件，包括石墨卡座和石墨卡帽，石墨卡座与石墨卡帽螺纹连接，其特征在于，石墨卡座的侧壁外侧中心对称设置有至少一对凹槽，和/或，石墨卡帽 CNU 一种多晶硅还原炉石墨件 Google Patents

一种还原炉石墨件的制作方法 X技术网

2019年11月12日本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，尤其涉及一种还原炉石墨件。背景技术：目前在多晶硅生产领域中，在进行多晶硅还原反应时，将硅芯插在石墨件上，石墨件套在铜电极上，硅芯按照一定的电极连接方式进行安本发明涉及多晶硅生产领域,具体涉及百度文库晶硅还原炉的底盘、底盘组件以及还原炉。多晶硅是太阳能电池和集成电路的基础原材料,随着近年来光伏产业的迅速发展以及集成电路的需求多晶硅还原炉的底盘、底盘组件以及还原炉百度文库高纯石墨夹具是多晶硅材料生产设备一一还原炉的重要零配件之一，也称为石墨电极，其主要作用是在生产中起到固定硅芯和导电，每套高纯石墨夹具是由尚纯石墨卡辦、尚纯石墨卡帽、尚纯多晶硅还原炉用石墨组件的制作方法 X技术网本发明公开了多晶硅还原炉石墨电极的洁净处理水淬法,其特征在于:对石墨电极分别进行三次水淬,即先对石墨电极进行三次加热然后分别进行三次水浸冷却,水浸冷却时通过纯水进入被加热的多晶硅还原炉石墨电极的洁净处理水淬法百度学术一种多晶硅还原炉石墨件的制作方法【技术领域】 [0001]本实用新型涉及多晶硅生产设备领域，特别是涉及一种多晶硅还原炉石墨件。【背景技术】 [0002]目前在多晶硅生产领域中，大多是采用改良西门子法生产多晶硅，在进行多晶硅还原反应之前，将娃芯插在石墨件上，石墨件套在铜电极一种多晶硅还原炉石墨件的制作方法 X技术网随着光伏行业的迅速发展，作为多晶硅材料生产设备中的主要消耗品高纯石墨夹具的需求也同期出现大幅增长。高纯石墨夹具是多晶硅材料生产设备一一还原炉的重要零配件之一，也称为石墨电极，其主要作用是在生产中起到固定硅芯和导电，每套高纯石墨夹具是由尚纯石墨卡辦、尚纯石墨卡多晶硅还原炉用石墨组件的制作方法 X技术网

多晶硅还原炉接地故障预防措施百度文库

四、结论通过分析，引起还原炉接地的因素较多，预防还原炉接地故障，就须从各影响因素着手。通过上述对接地故障发生原因的分析及提出的控制措施，可在一定程度上控制还原炉接地故障。接地故障是还原炉较为常见的异常停炉原因，是多晶硅生产企业需着重解决的问题。2020年1月3日 [简介]：本技术提供的多晶硅还原炉及多晶硅还原炉内壁安装镜面的操作方法，炉体上装有两道门，两道门围起的空间形成圆柱形炉体上的一个凸起；炉内底盘上贴近炉体内壁处沿炉体一周设有凹槽，对应地，还原炉内壁中间高度处沿炉体一周设有T形凹槽，两圈凹槽形成两条多晶硅还原炉生产工艺制造方法《一种多晶硅还原炉》是中国恩菲工程技术有限公司于2011年7月1日申请的专利，该专利的申请号为30，公布号为CNA，授权公布日为2012年2月15日，发明人是严大洲、肖荣晖、毋克力、汤传斌、汪绍芬、姚心。该专利涉及多晶硅生产技术领域《一种多晶硅还原炉》包括：底盘和炉体，所述一种多晶硅还原炉百度百科2022年7月13日 1本技术涉及多晶硅生产设备领域，具体而言，涉及多晶硅还原炉用硅芯棒与石墨夹头的连接装置。背景技术： 2目前在多晶硅生产领域中，大多是采用改良西门子法生产多晶硅，在进行多晶硅还原反应之前，将硅芯插在石墨件上，石墨件套在铜电极上，硅芯按照一定的电极连接方式进行安装，安装多晶硅还原炉用硅芯棒与石墨夹头的连接装置的制作方法多晶硅还原炉制造工艺技术探讨杨美昆（西安核设备有限公司，西安）摘要：讨论了太阳能光伏行业多晶硅生产关键核心设备多晶硅还原炉结构、技术特征和主要功能，同时对设备主体材料、形位公差、焊接以及表面抛光等关键工艺过程进行了详细多晶硅还原炉制造工艺技术探讨2022年12月30日 24对棒还原炉电极、绝缘套、磁环等易损件图纸一种管式pecvd设备炉口电极结构一种石墨化炉炉头炉尾电极冷却水孔结构一种还原炉电极磁环的清理装置一种还原炉底盘电极孔四氟套拆卸装置一种拼接绝缘套的真空炉电极组件环境影响评价报告全本公示,简介:年回收4100t氯硅烷资源综合利用技改一种多晶硅还原炉电极绝缘安装结构及豆丁网

大型多晶硅还原炉的工艺运行控制 JSUT

图 1 大型还原炉的运行曲线调整 7 结束语大型多晶还原炉的投用，标志着神舟硅业已掌握行业领先的多晶硅还原炉装备及运行控制技术，在技术更新中迈出了重要一步。本文是对公司大型还原炉的工艺运行控制经验的总结，对大型还原炉的应用具有一定的借鉴和指导意义。一种多晶硅还原炉用石墨卡瓣的制作方法【技术领域】 [0001]本实用新型涉及一种多晶硅还原炉用石墨组件，特别是涉及一种多晶硅还原炉用石墨卡瓣。【背景技术】 [0002]多晶硅是用于生产半导体和太阳能光伏产品的主要原料，目前用于生产多晶硅的主要方法有改良西门子法、硅烷法、硫化一种多晶硅还原炉用石墨卡瓣的制作方法 X技术网7根据权利要求16任一项所述的用于多晶硅还原炉用石墨组件的石墨护罩，其特征在于:所述石墨组件为石墨底座、石墨螺帽和石墨卡瓣三部分组成的三件套式石墨组件;或所述石墨组件为石墨底座、石墨卡瓣两部分组成的承插焊式石墨组件；或所述石墨组件为一体一种用于多晶硅还原炉用石墨组件的石墨护罩的制作方法2014年7月1日多晶硅还原炉加热电源的设计户夕赡劣享未管硕士学位论文多晶硅还原炉加热电源的设计作者:**华导师:**林北京交通大学年月时一 \学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解北京交通大学有关保留、使用学位论文的规定。多晶硅还原炉加热电源的设计豆丁网本申请涉及多晶硅生产技术，尤其涉及一种石墨头及多晶硅还原炉。背景技术、多晶硅是用于生产半导体和太阳能光伏产品的主要原料，目前用于生产多晶硅的主要方法有改良西门子法、硅烷法、流化床法等，其中改良西门子法和硅烷法在还原过程中都需要沉积载体，改良西门子法广泛使用的石墨头及多晶硅还原炉的制作方法 X技术网还原炉由底盘和炉筒组成，在底盘上分布有一定数量的电极，平常所称的若干对棒还原炉即以电极的对数为依据进行命名，如24对、36对棒还原炉。还原炉底盘是承载多晶硅重量的重要部件，同时还必须承担供电、物料进出与分布、冷却等功能，这些功能通过底盘还原炉生产多晶硅常见问题及对策探讨百度文库

多晶硅还原炉的底盘、底盘组件以及还原炉的制作方法

2021年6月15日本发明涉及多晶硅生产领域，具体涉及多晶硅还原炉的底盘、底盘组件以及还原炉。背景技术多晶硅是太阳能电池和集成电路的基础原材料，随着近年来光伏产业的迅速发展以及集成电路的需求激增，多晶硅作为其原材料在近年的需求急剧增加，目前，作为多晶硅生产的关键装备还原炉，存在转化率本发明系一种用于多晶硅还原炉炉体内侧炉壁涂层(以下简称内衬涂层)及其制备方法，具体的是涉及硅半导体材料和硅太阳能电池材料的制造。背景技术高纯多晶硅是电子工业和太阳能光伏产业的基础原料，在未来的50年里不可能有其他材料替代硅材料而成为电子和光伏产业主要原料。随着信一种多晶硅还原炉内衬涂层及其制造方法 X技术网石墨由于其特殊结构，具有良好的耐高温性、抗热震性、导电性、润滑性、化学稳定性以及可加工性等众多特性。【应用领域】：广泛应用于光伏多晶硅、化工、半导体、电气、冶金、机械等领域。主要产品有多晶硅还原炉石墨卡瓣、卡帽、卡座。【规格参数】：石墨件制品石墨三件套新特能源股份有限公司2023年4月13日还原炉生产多晶硅常见问题及对策探讨孙强;严大洲;汤传斌;万烨【摘要】在使用改良西门子法生产多晶硅的过程中，还原生产工艺是最关键的工艺,而还原炉运行成功与否最终关系到生产成本和企业效益通过对启炉及运行过程中硅芯倒伏、倒炉、电器与设备故障等问题进行总结和分析，发现硅芯质量还原炉生产多晶硅常见问题及对策探讨 renrendoc7本实用新型提供的多晶硅还原炉用石墨组件，包括： 8夹持体，中部设置有贯穿的硅芯安装孔，用于固定硅芯；9石墨基座，一侧端面与电极相接，另一侧端面与所述夹持体相接，且与硅芯的一侧端部抵接；10紧固件，中部设有固定孔，多晶硅还原炉用石墨组件的制作方法 X技术网本发明涉及多晶硅还原炉石墨电极的领域，特别是多晶硅还原炉石墨电极的洁净处理水淬法。背景技术在多晶硅生产中，硅芯棒由石墨电极与还原炉铜电极相连在iioo'c沉积多晶硅。石墨电极材质的纯度将影响多晶硅的质量。为了减少石墨电极中的杂质对多晶硅质量的影响，一般采取高温(110(TC)煅烧抽多晶硅还原炉石墨电极的洁净处理水淬法的制作方法

用于光伏行业的特种石墨 SGL Carbon

光伏应用多晶硅生产 7 ↑ 用于西门子还原炉的电极(卡瓣) ↑ 氢化炉隔热用石墨硬毡筒工艺保障流化床/西门子还原炉和 STCTCS 氢化炉中的材料部件需承受高达 1000 C (1800 F) 的温度和高度腐蚀性环境。我们的特种石墨2022年5月11日 1本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，尤其涉及一种石墨夹头结构及还原炉。背景技术： 2在生产多晶硅的生产技术中，目前改良西门子法为主要的生产方法。在进行多晶硅还原反应时，将硅芯插在石墨件上，石墨件套在铜电极上，硅芯按照一定的电极连接方式进行安装，安装完成后，按照工艺石墨夹头结构及还原炉的制作方法 X技术网2023年3月7日 1本发明属于多晶硅生产技术领域，具体地讲，涉及一种多晶硅还原炉及其底盘和启动方法。背景技术： 2目前，现有的多晶硅还原炉的启动方法为高压击穿，即多晶硅还原炉内硅芯是半导体材料，其半导体特性是负阻特性，硅芯的电阻率随温度升高而下降，因此只有足够热量使得硅芯温度升高到多晶硅还原炉及其底盘和启动方法与流程 X技术网2023年4月13日还原炉生产多晶硅常见问题及对策探讨孙强;严大洲;汤传斌;万烨【摘要】在使用改良西门子法生产多晶硅的过程中，还原生产工艺是最关键的工艺,而还原炉运行成功与否最终关系到生产成本和企业效益通过对启炉及运行过程中硅芯倒伏、倒炉、电器与设备故障等问题进行总结和分析，发现硅芯质量还原炉生产多晶硅常见问题及对策探讨 renrendoc2012年2月28日因此，研制出一套国内自主的多晶硅还原炉直流电气系统有着重要的意义。本文设计了国内台多晶硅还原炉直流电气系统中用于还原加热硅棒的 IGBT直流斩波加热电源。该加热电源的电路拓扑为6路Buck电路的组合，称为一个IGBT斩波柜。多晶硅还原炉加热电源的设计豆丁网2012年3月27日 1多晶硅的生产工艺：从西门子法到改良西门子法从西门子法到改良西门子法的演进是一个从开环到闭环的过程。1955年，德国西门子开发出以氢气（H2）还原高纯度三氯氢硅（SiHCl3），在加热到1100 左右的硅芯（也称“硅棒”）上沉积多晶硅的生产工艺；1957年，这种多晶硅生产工艺开始应用多晶硅研究系列1：三大生产工艺的比较 1多晶硅的

多晶硅还原生产常见问题及控制对策分析百度文库

还原炉包括底盘、炉筒，其中底盘上有分布电极分布，常见的若干对棒还原炉即根据电极对数得名，例如常见的有24对棒还原炉和36对棒还原炉。还原炉底盘在多晶硅重量承载这一方面是不可或缺的部件，也负责承担供电和物料进出、物料分布等，利用底盘的绝缘一种多晶硅还原炉石墨件的制作方法【技术领域】 [0001]本实用新型涉及多晶硅生产设备领域，特别是涉及一种多晶硅还原炉石墨件。【背景技术】 [0002]目前在多晶硅生产领域中，大多是采用改良西门子法生产多晶硅，在进行多晶硅还原反应之前，将娃芯插在石墨件上，石墨件套在铜电极一种多晶硅还原炉石墨件的制作方法 X技术网随着光伏行业的迅速发展，作为多晶硅材料生产设备中的主要消耗品高纯石墨夹具的需求也同期出现大幅增长。高纯石墨夹具是多晶硅材料生产设备一一还原炉的重要零配件之一，也称为石墨电极，其主要作用是在生产中起到固定硅芯和导电，每套高纯石墨夹具是由尚纯石墨卡辦、尚纯石墨卡多晶硅还原炉用石墨组件的制作方法 X技术网四、结论通过分析，引起还原炉接地的因素较多，预防还原炉接地故障，就须从各影响因素着手。通过上述对接地故障发生原因的分析及提出的控制措施，可在一定程度上控制还原炉接地故障。接地故障是还原炉较为常见的异常停炉原因，是多晶硅生产企业需着重解决的问题。多晶硅还原炉接地故障预防措施百度文库2020年1月3日 [简介]：本技术提供的多晶硅还原炉及多晶硅还原炉内壁安装镜面的操作方法，炉体上装有两道门，两道门围起的空间形成圆柱形炉体上的一个凸起；炉内底盘上贴近炉体内壁处沿炉体一周设有凹槽，对应地，还原炉内壁中间高度处沿炉体一周设有T形凹槽，两圈凹槽形成两条多晶硅还原炉生产工艺制造方法《一种多晶硅还原炉》是中国恩菲工程技术有限公司于2011年7月1日申请的专利，该专利的申请号为30，公布号为CNA，授权公布日为2012年2月15日，发明人是严大洲、肖荣晖、毋克力、汤传斌、汪绍芬、姚心。该专利涉及多晶硅生产技术领域《一种多晶硅还原炉》包括：底盘和炉体，所述一种多晶硅还原炉百度百科

多晶硅还原炉用硅芯棒与石墨夹头的连接装置的制作方法

2022年7月13日 1本技术涉及多晶硅生产设备领域，具体而言，涉及多晶硅还原炉用硅芯棒与石墨夹头的连接装置。背景技术： 2目前在多晶硅生产领域中，大多是采用改良西门子法生产多晶硅，在进行多晶硅还原反应之前，将硅芯插在石墨件上，石墨件套在铜电极上，硅芯按照一定的电极连接方式进行安装，安装多晶硅还原炉制造工艺技术探讨杨美昆（西安核设备有限公司，西安）摘要：讨论了太阳能光伏行业多晶硅生产关键核心设备多晶硅还原炉结构、技术特征和主要功能，同时对设备主体材料、形位公差、焊接以及表面抛光等关键工艺过程进行了详细多晶硅还原炉制造工艺技术探讨2022年12月30日 24对棒还原炉电极、绝缘套、磁环等易损件图纸一种管式pecvd设备炉口电极结构一种石墨化炉炉头炉尾电极冷却水孔结构一种还原炉电极磁环的清理装置一种还原炉底盘电极孔四氟套拆卸装置一种拼接绝缘套的真空炉电极组件环境影响评价报告全本公示,简介:年回收4100t氯硅烷资源综合利用技改一种多晶硅还原炉电极绝缘安装结构及豆丁网

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